[학술·행사] [지방대학활성화사업(반도체)] 반도체 배선 공정을 위한 박막 증착 공정 특강 N
No.10261197- 작성자 장원영
- 등록일 : 2024.04.11
- 조회수 : 1925
- 기간 2024-04-30 ~ 2024-04-30
[지방대학활성화사업(반도체)] 반도체 배선 공정을 위한 박막 증착 공정 특강 <특강 강연자> UNIST 반도체공학과 김수현 교수 (現 UNIST 반도체 소재부품 대학원 및 신소재공학과 교수, 前 영남대학교 신소재공학부 교수, 前 SK 하이닉스 선임 연구원) <특강 시간 및 장소> 04월 30일 화요일 15:00~16:15 자연과학대학 강당 ※ 14시 50분까지 착석 부탁드립니다. ※ 커피와 쿠키 제공됩니다. <특강 내용> 주제 : 반도체 배선 공정을 위한 박막 증착 공정 특강 내용: 1) 반도체 배선 공정 개략 및 기초 2) 반도체 증착 공정 (Sputtering, CVD, ALD, EP) 3) Cu 배선 공정 4) 질의응답